PSI462PMI手动光罩检验机适用4~9寸光罩检查，搭配USMCO专用400X光学显微镜迅速检测各种光罩缺陷，并可加装CCD摄影机与高解析度显示萤幕，是最经济超值的光罩检验机。

PSI462PMI手动光罩检验机适用4~9寸光罩检查，搭配USMCO专用400X光学显微镜迅速检测各种光罩缺陷，并可加装CCD摄影机与高解析度显示萤幕。 PSI 462 PMI手动光罩检验机提供DRO (Digital Readout)数位座标判读系统，可重复进行缺陷定位与检验，是量测与故障分析的最佳利器。

Photomask Visual Inspection/Review Station PSI生产之光罩检验机提供客户最完善且更具经济效益的解决方案，让客户能侦测、检验各种先进光罩上的缺陷，改进生产与品管的效率。
具备精确定位能力与先进光学照明，透过四种独立光源 Incident Bright-Field(IBF) 、 Incident Dark-Field(IDF) 、 Transmitted Bright-Field(TBF)、 Transmitted Dark-Field(TDF)组成八种照明模式，能准确检测包括particles、pinhole、chrome defect、edge effect、scratching thin metal and contamination等各种光罩的缺陷位置，大幅提高光罩检验效率与正确性。
PSI 400 系列适用於 4"~9" 光罩；
PSI 300 系列适用於 4"~7" 光罩；
342-PMI 为通用手动光罩检验机；
362-PMI 提供DRO( Digital Readout)数位座标判读系统；