商品介紹

Wet Series - Wet Chemistry Process monitoring systems

Wet series enable stringent and instant process control which identifies excursions before affecting yields.

*Montoring in-line and on-time
*No sampling or dilution required
*Operating in low costs
*Enable closed loop control
*Temperature compensation
                                                 *Self-calibration
                                                 
                                                 可測量的液體種類繁多,請來信或來電詢問。

WetCon - Conductive Concentration Analyser

用導電度測量可導電的化學溶液(單一成份Single Component)濃度,有自動校正和溫度補償的功能,可測量DHF、HCl、HNO3、H2SO4、NH3、TMAH、Citric Acid……等液體。

WetRad - Mixing Component Concentration Analyser

從UV/VIS/NIR裡選定兩個波長,測量混合液(mixing chemicals)的其中一個成份(One chose Component),可測量0˚C到120˚C的化學溶液,採用光學式測量,快速、連續且準確的判讀欲知成分濃度,WetRad裡有兩顆LED燈泡可以互相校正光源,可量測H2O in IPA、H2O in solvent、TMAH、H2O2等等。

 

WetSpec 201/200 - Mixing Chemical Concentration Analyser

以近紅外線技術量測Mixing Chemical裡面所有成分的個別濃度值,可測量0˚C到120˚C的化學溶液。WetSpec201用來測量單個化學槽,WetSpec200則可以外接八個化學槽,依化學槽的順序測量不同化學溶液。WetSpec可以測量的化學液體種類十分多,例如SC1、SC2、SPM、DSP、BOE、solvent、HF/HCl、Al etching、IPA/KOH等等液體,歡迎來信或來電洽詢。