基本資料

名稱:科宇系統有限公司
英文名稱:Active Link System Corp.
統一編號:28149849
主打產品服務:四點探針與濕製程濃度量測
公司網站:http://www.activelink.com.tw
服務時間:09:00-18:00 全年無休
聯絡人:許江州

簡介

科宇系統代理歐美半導體與光電產業的專業量測分析系統,包括微米、納米級物體表面的三維精密測量儀、濕製程濃度分析儀、光罩檢查機、探針台、CV / IV 量測系統、薄膜和片電阻的測量儀、以及太陽電池製程中的片電阻與漏電流量的量測等機台和周邊耗材。

 

* SubNano 鎮江超納儀器

3D Optical microscope/Non-contact Surface profiler 微米/納米級物體表面微觀特徵的三維精密測量,包括錶面缺陷、錶面粗糙度、錶面台階高度差、薄膜厚度等等。這些應用包括了先進製造業的各個領域如集成電路製程工藝、微電子機械系統(MEMS)製造技術、太陽能光伏電池生產技術、高效LED晶元生產技術、高端通訊製造技術、超精密機械加工中的航空/航太/汽車/光學零件錶面粗糙度、新型材料錶面特徵、智慧手機/平面電腦/平面顯示器裝配等等領域的研發和大規模生產

 

* CI-SEMI

In-line, real-time concentration monitor ,化學液濃度分析儀,濕製程多通道即時濃度監測系統適用於清洗(Clean)、蝕刻(Etch)、去光阻(Strip)等化學槽監測,如半導體製程SC1、SC2、BOE、DHF、EKC、ACT;光電產業Al etch、BOE、PR STRIPPER;太陽能廠裡製程中的HF/HNO3、KOH/IPA等化學液濃度監控,依據不同的需求有不同的選擇。

NTM,In-Situ Wafer Temperature Monitor,非接觸式的紅外光測溫器,適用於製程中測量晶圓表面溫度,NTM會自動進行反射率(Emissivity)的補償,CI-SEMI的NTM廣泛的使用在OEM的製造商機台上,用於如CVD 、PVD、Dry Etch、RTP等製程機台上,OEM的製造商例如Applied Material、TEL、Novellus、Ulvac等。

 

* Probing Solutions Inc.

Probe Stations 晶圓探針台 4"~12" wafer probe. Photomask Inspection Station 光罩顯微檢驗機台 inspecting particles on pellicles or glass and pattern defects.專為光罩檢查設計,操作容易搭配8種照明模式容易觀測各種缺陷。

 

* 4 Dimensions Inc.

Hg CV Mapping system 電容-電壓量測系統 C-V, I-V, Q-V...特殊汞探針設計可直接量測無圖形晶圓。 4 point probe system 四點探針阻值量測系統適用於半導體或光電產業薄膜阻值量測。Sheet Resistance 片電阻量測 Solar Cell, ITO, Wafer mapping. 另外針對太陽電池應用4D開發出可以量測片電阻與漏電流檢測之專利機種,可以檢測PN Junction漏電流

 

* Jandel Probe Heads

適用各大廠之阻值量測系統使用之四點探針探頭,品質優異價格合理

 

* attolight Quantitative Cathodoluminescence (CL, CL-SEM, CL-STEM, TRCL )

 瑞士 attolight 生產之 CL 光譜儀.  針對CL最佳化設計. 提供半導體, LED, MicroLED, PV及各種材料奈米級之缺陷成分分析. 

服務內容: Wet process monitor 濕製程濃度計,Probe station 探針台,Photomask inspection station 光罩檢查機,4 point probe system 四點探針機台,Hg CV system 汞探針,Probe heads 四點探針頭,Cathodoluminescence,3D surface profiler

配送及付款方式

主要服務地區:台灣北部, 台灣中部, 台灣南部, 台灣東部

聯絡資訊

聯絡電話:03-658-6503
聯絡手機:0936876545
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